Selective Etching of Micropipes During Initial Homoepitaxial Growth Stage on Nearly On-Axis 4H-SiC Substrates: Fid-Bau Portal

Selective Etching of Micropipes During Initial Homoepitaxial Growth Stage on Nearly On-Axis 4H-SiC Substrates

Bahng, W. / Cheong, H. J. / Kang, I. H. / Kim, S. C. / Kim, K. H. / Kim, N. K.

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Titel:

Selective Etching of Micropipes During Initial Homoepitaxial Growth Stage on Nearly On-Axis 4H-SiC Substrates

Beteiligte:

Bahng, W. (Autor:in) / Cheong, H. J. (Autor:in) / Kang, I. H. (Autor:in) / Kim, S. C. (Autor:in) / Kim, K. H. (Autor:in) / Kim, N. K. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 207-210

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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