Characterization of Dislocations and Micropipes in 4H n^+ SiC Substrates: Fid-Bau Portal

Characterization of Dislocations and Micropipes in 4H n^+ SiC Substrates

Wu, P. / Yoganathan, M. / Zwieback, I. / Chen, Y. / Dudley, M.

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Titel:

Characterization of Dislocations and Micropipes in 4H n^+ SiC Substrates

Beteiligte:

Wu, P. (Autor:in) / Yoganathan, M. (Autor:in) / Zwieback, I. (Autor:in) / Chen, Y. (Autor:in) / Dudley, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 600/603 ; 333-336

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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