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    Titel:

    SiC Substrate Doping Profiles Using Commercial Optical Scanners

    Beteiligte:

    Caldwell, J. D. (Autor:in) / Glembocki, O. J. (Autor:in) / Hansen, D. M. (Autor:in) / Chung, G. (Autor:in) / Hobart, K. D. (Autor:in) / Kub, F. J. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 725-728

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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