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Elasticity study of very thin Cu films

Fujiwara, K. / Tanimoto, H. / Mizubayashi, H.

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Titel:

Elasticity study of very thin Cu films

Beteiligte:

Fujiwara, K. (Autor:in) / Tanimoto, H. (Autor:in) / Mizubayashi, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 442 ; 336-341

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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