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Microfabrication of Polymers Using KrF Excimer Laser Beam

Shin, D. S. / Lee, J. H. / Suh, J.

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Titel:

Microfabrication of Polymers Using KrF Excimer Laser Beam

Beteiligte:

Shin, D. S. (Autor:in) / Lee, J. H. (Autor:in) / Suh, J. (Autor:in) / Lee, S.-B. / Kim, Y.-J.

Erschienen in:

Experimental Mechanics in Nano and Biotechnology ; 115-118

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 326/328

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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