Cobalt-induced polycrystalline silicon film growth: Fid-Bau Portal

Cobalt-induced polycrystalline silicon film growth

Kim, J. / Piwowar, A. M. / Nowak, R. / Gradella, J. A. / Anderson, W. A.

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Titel:

Cobalt-induced polycrystalline silicon film growth

Beteiligte:

Kim, J. (Autor:in) / Piwowar, A. M. (Autor:in) / Nowak, R. (Autor:in) / Gradella, J. A. (Autor:in) / Anderson, W. A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 3053-3056

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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