Nanomechanical properties of sub-10 nm carbon film overcoats using the nanoindentation technique: Fid-Bau Portal

Nanomechanical properties of sub-10 nm carbon film overcoats using the nanoindentation technique

Yeo, C.-D. / Polycarpou, A. A. / Kiely, J. D. / Hsia, Y.-T.

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Titel:

Nanomechanical properties of sub-10 nm carbon film overcoats using the nanoindentation technique

Beteiligte:

Yeo, C.-D. (Autor:in) / Polycarpou, A. A. (Autor:in) / Kiely, J. D. (Autor:in) / Hsia, Y.-T. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 22 ; 141-151

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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