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Mode I and mixed mode fracture of polysilicon for MEMS:

CHO, S. W. / JONNALAGADDA, K. / CHASIOTIS, I.

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Titel:

Mode I and mixed mode fracture of polysilicon for MEMS:

Beteiligte:

CHO, S. W. (Autor:in) / JONNALAGADDA, K. (Autor:in) / CHASIOTIS, I. (Autor:in)

Erschienen in:

FATIGUE AND FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS AND STRUCTURES ; 30 ; 21-31

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

8756-758X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1123

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