Single Diamond Dressing Characteristics of CMP Polyurethane Pad: Fid-Bau Portal

Single Diamond Dressing Characteristics of CMP Polyurethane Pad

Liao, Y. S. / Tsai, M. Y. / Sung, J. C. / Pai, Y. L.

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Titel:

Single Diamond Dressing Characteristics of CMP Polyurethane Pad

Beteiligte:

Liao, Y. S. (Autor:in) / Tsai, M. Y. (Autor:in) / Sung, J. C. (Autor:in) / Pai, Y. L. (Autor:in) / Guo, D. / Kuriyagawa, T. / Wang, J. / Tamaki, J.

Erschienen in:

Advances in Abrasive Technology IX ; 151-156

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 329

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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