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    Titel:

    Experimental and Simulation Research on Influence of Temperature on Nano-Scratching Process of Silicon Wafer

    Beteiligte:

    Okabe, H. (Autor:in) / Tsumura, T. (Autor:in) / Shimizu, J. (Autor:in) / Zhou, L. (Autor:in) / Eda, H. (Autor:in) / Guo, D. / Kuriyagawa, T. / Wang, J. / Tamaki, J.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology IX ; 379-384

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 329

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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