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    Titel:

    Al-oxynitrides as a buffer layer for Pr2O3/SiC interfaces

    Beteiligte:

    Sohal, R. (Autor:in) / Torche, M. (Autor:in) / Henkel, K. (Autor:in) / Hoffmann, P. (Autor:in) / Tallarida, M. (Autor:in) / Schmeier, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 945-948

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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