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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Characterization of rare earth oxides based MOSFET gate stacks prepared by metal-organic chemical vapour deposition

    Beteiligte:

    Frohlich, K. (Autor:in) / Luptak, R. (Autor:in) / Dobrocka, E. (Autor:in) / Husekova, K. (Autor:in) / Cico, K. (Autor:in) / Rosova, A. (Autor:in) / Lukosius, M. (Autor:in) / Abrutis, A. (Autor:in) / Pisecny, P. (Autor:in) / Espinos, J. P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 1065-1072

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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