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Formation of nitride film on amorphous ribbon using chemical vapor deposition

Han, J. H. / Kim, T. H. / Yoon, J. K. / Jee, K. K. / Kim, K. Y.

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Titel:

Formation of nitride film on amorphous ribbon using chemical vapor deposition

Beteiligte:

Han, J. H. (Autor:in) / Kim, T. H. (Autor:in) / Yoon, J. K. (Autor:in) / Jee, K. K. (Autor:in) / Kim, K. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 449/451 ; 741-746

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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