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Hybrid-excitation chemical vapor deposition of a silicon nitride film

Yamamoto, S. / Migitaka, M.

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Titel:

Hybrid-excitation chemical vapor deposition of a silicon nitride film

Beteiligte:

Yamamoto, S. (Autor:in) / Migitaka, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 79/80 ; 344

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

344 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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