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Internal structure transition of spin-on glass by electron beam irradiation

Araki, M. / Taniguchi, J. / Sawada, N. / Utsumi, T. / Miyamoto, I.

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Titel:

Internal structure transition of spin-on glass by electron beam irradiation

Beteiligte:

Araki, M. (Autor:in) / Taniguchi, J. (Autor:in) / Sawada, N. (Autor:in) / Utsumi, T. (Autor:in) / Miyamoto, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 5191-5195

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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