Synthesis and fine patterning of organic-inorganic composite SiO2-Al2O3 thick films: Fid-Bau Portal

Synthesis and fine patterning of organic-inorganic composite SiO2-Al2O3 thick films

Liang, Q. L. / Zhao, G. Y. / Lu, J. G.

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Titel:

Synthesis and fine patterning of organic-inorganic composite SiO2-Al2O3 thick films

Beteiligte:

Liang, Q. L. (Autor:in) / Zhao, G. Y. (Autor:in) / Lu, J. G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 5442-5446

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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