Study of In~2O~3 Thin Films Prepared on TiN Substrates Using a Triethylindium and Oxygen Mixture: Fid-Bau Portal

Study of In~2O~3 Thin Films Prepared on TiN Substrates Using a Triethylindium and Oxygen Mixture

Kim, H. W. / Myung, J. H.

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Titel:

Study of In~2O~3 Thin Films Prepared on TiN Substrates Using a Triethylindium and Oxygen Mixture

Beteiligte:

Kim, H. W. (Autor:in) / Myung, J. H. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J.

Erschienen in:

Proceedings of the Fourth China International Conference on High-Performance Ceramics (CICC-4) (Incorporating the Second International Workshop on Layered and Graded Materials and the First Satellite Symposium on Thermoelectrics) Chengdu, China, October 23 ∼ 26, 2005 ; 760-762

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 336/338

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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