Thermal Imprint Process of Parylene for MEMS Applications: Fid-Bau Portal

Thermal Imprint Process of Parylene for MEMS Applications

Youn, S. W. / Goto, H. / Takahashi, M. / Ogiwara, M. / Maeda, R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Thermal Imprint Process of Parylene for MEMS Applications

Youn, S. W. / Goto, H. / Takahashi, M. / Ogiwara, M. / Maeda, R.

Thermal Imprint Process of Parylene for MEMS Applications

Youn, S. W. / Goto, H. / Takahashi, M. / Ogiwara, M. / Maeda, R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Thermal Imprint Process of Parylene for MEMS Applications

Beteiligte:

Youn, S. W. (Autor:in) / Goto, H. (Autor:in) / Takahashi, M. (Autor:in) / Ogiwara, M. (Autor:in) / Maeda, R. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 340/341 ; 931-936

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Cao, Q.-h. / Xu, R.-j. / Wang, J.-h. | British Library Online Contents | 2008

A Laterally Thermally-Actuated RF MEMS Capacitive Switch with Parylene as Dielectric Layer

He, X.J. / Lv, Z.Q. / Liu, B. et al. | British Library Online Contents | 2011

Surface energy of Parylene C

Chindam, C. / Lakhtakia, A. / Awadelkarim, O. O. | British Library Online Contents | 2015

Imprint

Online Contents | 2009

Imprint

Online Contents | 2004

Nach oben