Etching reaction of methylchloride molecule on the GaAs (001)-2x4 surface: Fid-Bau Portal

Etching reaction of methylchloride molecule on the GaAs (001)-2x4 surface

Ozeki, M. / Iwasa, Y. / Shimizu, Y.

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Titel:

Etching reaction of methylchloride molecule on the GaAs (001)-2x4 surface

Beteiligte:

Ozeki, M. (Autor:in) / Iwasa, Y. (Autor:in) / Shimizu, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 5914-5919

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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