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Study micromechanism of surface planarization in the polishing technology using numerical simulation method

Han, X.

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Titel:

Study micromechanism of surface planarization in the polishing technology using numerical simulation method

Beteiligte:

Han, X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 6211-6216

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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