A resonant method for determining mechanical properties of Si3N4 and SiO2 thin films: Fid-Bau Portal

A resonant method for determining mechanical properties of Si3N4 and SiO2 thin films

Dai, C. L. / Chang, Y. M.

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Titel:

A resonant method for determining mechanical properties of Si3N4 and SiO2 thin films

Beteiligte:

Dai, C. L. (Autor:in) / Chang, Y. M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 61 ; 3089-3092

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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