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    Titel:

    Thin SiO2-Si3N4-SiO2 films : auger depth profile evaluation by means of factor analysis

    Beteiligte:

    Gonzo, L. (Autor:in) / Marchetti, F, (Autor:in) / Sarkar, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    IRST technical report ; 9301-16

    Erscheinungsdatum:

    1993

    Format / Umfang:

    14 Bl

    Anmerkungen:

    graph. Darst
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek

    Medientyp:

    Buch

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

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