AFM Simulation for a Nano-abrasive Micro-wear on the Silicon: Fid-Bau Portal

AFM Simulation for a Nano-abrasive Micro-wear on the Silicon

An, W. / Wang, C. / Zhao, Y.-w.

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Titel:

AFM Simulation for a Nano-abrasive Micro-wear on the Silicon

Beteiligte:

An, W. (Autor:in) / Wang, C. (Autor:in) / Zhao, Y.-w. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 25 ; 273-275

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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