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    Titel:

    Cross-sectional nanoindentation for copper adhesion characterization in blanket and patterned interconnect structures: experiments and three-dimensional FEM modeling

    Beteiligte:

    Roy, S. b. (Autor:in) / Darque-Ceretti, E. (Autor:in) / Felder, E. (Autor:in) / Monchoix, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    INTERNATIONAL JOURNAL OF FRACTURE ; 144 ; 21-33

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    13 pages

    ISSN:

    0376-9429

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1126

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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