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    Titel:

    Analysis of materials modifications caused by UV laser micro drilling of via holes in AlGaN/GaN transistors on SiC

    Beteiligte:

    Wernicke, T. (Autor:in) / Kruger, O. (Autor:in) / Herms, M. (Autor:in) / Wurfl, J. (Autor:in) / Kirmse, H. (Autor:in) / Neumann, W. (Autor:in) / Behm, T. (Autor:in) / Irmer, G. (Autor:in) / Trankle, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 8008-8014

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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