Influence of in situ nitrogen pressure on crystallization of pulsed laser deposited AlN films: Fid-Bau Portal

Influence of in situ nitrogen pressure on crystallization of pulsed laser deposited AlN films

Bakalova, S. / Szekeres, A. / Cziraki, A. / Lungu, C. P. / Grigorescu, S. / Socol, G. / Axente, E. / Mihailescu, I. N.

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Titel:

Influence of in situ nitrogen pressure on crystallization of pulsed laser deposited AlN films

Beteiligte:

Bakalova, S. (Autor:in) / Szekeres, A. (Autor:in) / Cziraki, A. (Autor:in) / Lungu, C. P. (Autor:in) / Grigorescu, S. (Autor:in) / Socol, G. (Autor:in) / Axente, E. (Autor:in) / Mihailescu, I. N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 8215-8219

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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