Encapsulating Annealing of N^+ Implanted 4H-SiC by Diamond-Like-Carbon Film: Fid-Bau Portal

Encapsulating Annealing of N^+ Implanted 4H-SiC by Diamond-Like-Carbon Film

Miyagawa, S. / Suzuki, T. / Kudo, T. / Satoh, M.

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Titel:

Encapsulating Annealing of N^+ Implanted 4H-SiC by Diamond-Like-Carbon Film

Beteiligte:

Miyagawa, S. (Autor:in) / Suzuki, T. (Autor:in) / Kudo, T. (Autor:in) / Satoh, M. (Autor:in) / Wright, N. / Johnson, C. M. / Vassilevski, K. / Nikitina, I. / Horsfall, A.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2006 ; 583-586

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 556/557

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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