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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Exploitation of atomic layer deposition for nanostructured materials

    Beteiligte:

    Leskelä, M. (Autor:in) / Kemell, M. (Autor:in) / Kukli, K. (Autor:in) / Pore, V. (Autor:in) / Santala, E. (Autor:in) / Ritala, M. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 27 ; 1504-1508

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0928-4931

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 660

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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