Correlation between substrate bias, growth process and structural properties of phosphorus incorporated tetrahedral amorphous carbon films: Fid-Bau Portal

Correlation between substrate bias, growth process and structural properties of phosphorus incorporated tetrahedral amorphous carbon films

Liu, A. / Zhu, J. / Han, J. / Wu, H. / Jia, Z.

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Titel:

Correlation between substrate bias, growth process and structural properties of phosphorus incorporated tetrahedral amorphous carbon films

Beteiligte:

Liu, A. (Autor:in) / Zhu, J. (Autor:in) / Han, J. (Autor:in) / Wu, H. (Autor:in) / Jia, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 9124-9129

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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