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Peculiarities of Formula Not Shown thermal oxidation

Balitskii, O. A. / Savchyn, V. P.

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Titel:

Peculiarities of Formula Not Shown thermal oxidation

Beteiligte:

Balitskii, O. A. (Autor:in) / Savchyn, V. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 10 ; 124-127

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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