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Reactively sputter-deposited Mo-Ox-Ny thin films

Shen, Y. G. / Mai, Y. W.

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Titel:

Reactively sputter-deposited Mo-Ox-Ny thin films

Beteiligte:

Shen, Y. G. (Autor:in) / Mai, Y. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 95 ; 222 - 229

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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