Fabrication of Double-Length-Scale Patterns via Lithography, Block Copolymer Templating, and Electrodeposition: Fid-Bau Portal

Fabrication of Double-Length-Scale Patterns via Lithography, Block Copolymer Templating, and Electrodeposition

Tseng, Y. T. / Tseng, W. H. / Lin, C. H. / Ho, R. M.

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Titel:

Fabrication of Double-Length-Scale Patterns via Lithography, Block Copolymer Templating, and Electrodeposition

Beteiligte:

Tseng, Y. T. (Autor:in) / Tseng, W. H. (Autor:in) / Lin, C. H. (Autor:in) / Ho, R. M. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 19 ; 3584-3588

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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