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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Ultra-Large Area RF Plasma Sources Employing Multiple Low-Inductance Internal-Antenna Modules for Flat Panel Display Processing

    Beteiligte:

    Setsuhara, Y. (Autor:in) / Takenaka, K. (Autor:in) / Tsukiyama, D. (Autor:in) / Nishisaka, K. (Autor:in) / Ebe, A. (Autor:in) / Chang, Y.W. / Kim, N.J. / Lee, C.S.

    Erschienen in:

    PRICM 6: Selected, peer reviewed papers from The Sixth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, November 5-9, 2007, ICC Jeju, Jeju Island, Korea ; 1237-1240

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 561/565

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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