Structural, chemical and optical characterizations of nanocrystallized AlN:Er thin films prepared by r.f. magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Structural, chemical and optical characterizations of nanocrystallized AlN:Er thin films prepared by r.f. magnetron sputtering

Brien, V. / Miska, P. / Rinnert, H. / Geneve, D. / Pigeat, P.

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Titel:

Structural, chemical and optical characterizations of nanocrystallized AlN:Er thin films prepared by r.f. magnetron sputtering

Beteiligte:

Brien, V. (Autor:in) / Miska, P. (Autor:in) / Rinnert, H. (Autor:in) / Geneve, D. (Autor:in) / Pigeat, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 146 ; 200-203

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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