Structural and optical properties of the SiCN thin films prepared by reactive magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Structural and optical properties of the SiCN thin films prepared by reactive magnetron sputtering

Peng, Y. / Zhou, J. / Zhao, B. / Tan, X. / Zhang, Z.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Structural and optical properties of the SiCN thin films prepared by reactive magnetron sputtering

Peng, Y. / Zhou, J. / Zhao, B. / Tan, X. / Zhang, Z.

Structural and optical properties of the SiCN thin films prepared by reactive magnetron sputtering

Peng, Y. / Zhou, J. / Zhao, B. / Tan, X. / Zhang, Z.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Structural and optical properties of the SiCN thin films prepared by reactive magnetron sputtering

Beteiligte:

Peng, Y. (Autor:in) / Zhou, J. (Autor:in) / Zhao, B. (Autor:in) / Tan, X. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 4010-4013

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Peng, Y. / Zhou, J. / Gong, J. et al. | British Library Online Contents | 2014

Growth of SiCN films by magnetron sputtering

Wei, J. / Gao, Y. / Zhang, D. H. et al. | British Library Online Contents | 2000

Properties of zirconia thin films prepared by reactive magnetron sputtering

Hembram, K. P. / Mohan Rao, G. | British Library Online Contents | 2007

SiCN thin film prepared at room temperature by r.f. reactive sputtering

Wu, X. C. / Cai, R. Q. / Yan, P. X. et al. | British Library Online Contents | 2002

Nanostructured CrN thin films prepared by reactive pulsed DC magnetron sputtering

Elangovan, T. / Kuppusami, P. / Thirumurugesan, R. et al. | British Library Online Contents | 2010

Nach oben