Stage Equipped with Single Actuator for Nano-Positioning in Large Travel Range: Fid-Bau Portal

Stage Equipped with Single Actuator for Nano-Positioning in Large Travel Range

Wang, Y.C. / Lin, C.J. / Chen, C.J. / Liou, H.C.

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Titel:

Stage Equipped with Single Actuator for Nano-Positioning in Large Travel Range

Beteiligte:

Wang, Y.C. (Autor:in) / Lin, C.J. (Autor:in) / Chen, C.J. (Autor:in) / Liou, H.C. (Autor:in) / Jin, G.F. / Lee, W.B. / Cheung, C.F. / To, S.

Erschienen in:

Advances in Optics Design and Precision Manufacturing Technologies ; 768-772

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 364/366

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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