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    Dokumentinformationen
    Titel:

    PE-CVD fabrication of germanium nanoclusters for memory applications

    Beteiligte:

    Durkop, T. (Autor:in) / Bugiel, E. (Autor:in) / Costina, I. (Autor:in) / Ott, A. (Autor:in) / Peibst, R. (Autor:in) / Hofmann, K. R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 147 ; 213-217

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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