Synthesis of molybdenum silicide by both ion implantation and ion beam assisted deposition: Fid-Bau Portal

Synthesis of molybdenum silicide by both ion implantation and ion beam assisted deposition

Meng, Q. / Zhang, J. / Li, Z. / Li, G. / Chen, R.

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Titel:

Synthesis of molybdenum silicide by both ion implantation and ion beam assisted deposition

Beteiligte:

Meng, Q. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in) / Li, Z. (Autor:in) / Li, G. (Autor:in) / Chen, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 2678-2684

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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