Gas barrier properties of titanium oxynitride films deposited on polyethylene terephthalate substrates by reactive magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Gas barrier properties of titanium oxynitride films deposited on polyethylene terephthalate substrates by reactive magnetron sputtering

Lin, M. C. / Chang, L. S. / Lin, H. C.

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Titel:

Gas barrier properties of titanium oxynitride films deposited on polyethylene terephthalate substrates by reactive magnetron sputtering

Beteiligte:

Lin, M. C. (Autor:in) / Chang, L. S. (Autor:in) / Lin, H. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 3509-3516

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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