Nitric acid method for fabrication of gate oxides in TFT: Fid-Bau Portal

Nitric acid method for fabrication of gate oxides in TFT

Mizushima, S. / Imai, S. / Tanaka, M. / Kobayashi, H.

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Titel:

Nitric acid method for fabrication of gate oxides in TFT

Beteiligte:

Mizushima, S. (Autor:in) / Imai, S. (Autor:in) / Tanaka, M. (Autor:in) / Kobayashi, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 3685-3689

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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