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    Titel:

    Structural properties and electrical resistivity of TiNx and Ti~1~-~xAl~xN films prepared by reactive dc magnetron sputtering: effect of nitrogen flowrate

    Beteiligte:

    Irudayaraj, A.A. (Autor:in) / Kuppusami, P. (Autor:in) / Kalainathan, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 24 ; 28-35

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0267-0844

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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