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DRIE for MEMS Devices: A Cost-effective Solution

Puech, M. / Thevenoud, J.-M. / Gruffat, J.-M.

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Titel:

DRIE for MEMS Devices: A Cost-effective Solution

Beteiligte:

Puech, M. (Autor:in) / Thevenoud, J.-M. (Autor:in) / Gruffat, J.-M. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED PACKAGING ; 17 ; 25-28

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1065-0555

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 658.564

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