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    Titel:

    Cleaning of Silicon Surfaces for Nanotechnology

    Beteiligte:

    Senftleben, O. (Autor:in) / Baumgartner, H. (Autor:in) / Eisele, I. (Autor:in) / Lerch, W. / Niess, J.

    Erschienen in:

    Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing ; 77-118

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 573/574

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    42 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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