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    Titel:

    In situ DC-plasma cleaning of silicon surfaces

    Beteiligte:

    Kafader, U. (Autor:in) / Sirringhaus, H. (Autor:in) / Von Kaenel, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 90 ; 297

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1995

    Format / Umfang:

    297 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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