Suche

Implant Annealing - An Evolution from Soak over Spike to Millisecond Annealing

Paul, S. / Lerch, W.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Implant Annealing - An Evolution from Soak over Spike to Millisecond Annealing

Paul, S. / Lerch, W.

Implant Annealing - An Evolution from Soak over Spike to Millisecond Annealing

Paul, S. / Lerch, W.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Implant Annealing - An Evolution from Soak over Spike to Millisecond Annealing

Beteiligte:

Paul, S. (Autor:in) / Lerch, W. (Autor:in) / Lerch, W. / Niess, J.

Erschienen in:

Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing ; 207-228

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 573/574

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

22 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Ähnliche Titel

Soak-away

STEPHEN DAVID MILLS | Europäisches Patentamt | 2018

Freier Zugriff

Millisecond flash annealing: Applications for USJ formation and optimization of device electrical characteristics

Foggiato, J. / Yoo, W. S. | British Library Online Contents | 2005

Advanced Millisecond Annealing Technologies and its Applications and Concerns on Advanced Logic LSI Fabrication Processes

Kase, M. / Yamamoto, T. / Kubo, T. | British Library Online Contents | 2008

SOAK: Mumbai in an Estuary (review)

Lehrman, Barry. | Online Contents | 2011

Fireproof concrete for lining of soak pits

Pavlenko, S.I. / Permyakov, A.A. / Pronyakin, Y.N. | Tema Archiv | 1998

Nach oben