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Phosphorous doped Ru film for advanced Cu diffusion barriers

Perng, D. C. / Yeh, J. B. / Hsu, K. C.

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Titel:

Phosphorous doped Ru film for advanced Cu diffusion barriers

Beteiligte:

Perng, D. C. (Autor:in) / Yeh, J. B. (Autor:in) / Hsu, K. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 6059-6062

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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