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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Evaluation of Si3N4/Si interface by UV Raman spectroscopy

    Beteiligte:

    Ogura, A. (Autor:in) / Yoshida, T. (Autor:in) / Kosemura, D. (Autor:in) / Kakemura, Y. (Autor:in) / Aratani, T. (Autor:in) / Higuchi, M. (Autor:in) / Sugawa, S. (Autor:in) / Teramoto, A. (Autor:in) / Ohmi, T. (Autor:in) / Hattori, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 6229-6231

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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