3D Displacement Measurement with Pico-Meter Resolution Using Single Heterodyne Grating Interferometry: Fid-Bau Portal

3D Displacement Measurement with Pico-Meter Resolution Using Single Heterodyne Grating Interferometry

Hsu, C.C. / Lee, J.Y. / Wu, C.C. / Shih, H.C.

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Titel:

3D Displacement Measurement with Pico-Meter Resolution Using Single Heterodyne Grating Interferometry

Beteiligte:

Hsu, C.C. (Autor:in) / Lee, J.Y. (Autor:in) / Wu, C.C. (Autor:in) / Shih, H.C. (Autor:in) / Gao, W. / Takaya, Y. / Gao, Y. / Krystek, M.

Erschienen in:

Measurement Technology and Intelligent Instruments VIII ; 283-286

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 381/382

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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