Traceable pico-meter level step height metrology: Fid-Bau Portal

Traceable pico-meter level step height metrology

Orji, N. G. / Dixson, R. G. / Fu, J. / Vorburger, T. V.

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Titel:

Traceable pico-meter level step height metrology

Beteiligte:

Orji, N. G. (Autor:in) / Dixson, R. G. (Autor:in) / Fu, J. (Autor:in) / Vorburger, T. V. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 257 ; 1264-1269

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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