Composition of the sputter deposited W-Ti thin films: Fid-Bau Portal

Composition of the sputter deposited W-Ti thin films

Bundaleski, N. / Petrovic, S. / Perusko, D. / Kovac, J. / Zalar, A.

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Titel:

Composition of the sputter deposited W-Ti thin films

Beteiligte:

Bundaleski, N. (Autor:in) / Petrovic, S. (Autor:in) / Perusko, D. (Autor:in) / Kovac, J. (Autor:in) / Zalar, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 6390-6394

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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